Eşyönsüz Gravür kaçıklığı Nasıl Hesaplanır? EDP ​​, KOH ya da TMAH çözelti . Aşındırma simülasyonu içinHücresel Otomasyon (CA ) yöntemi kullanıldığı zaman ,alt-tabaka bir kristal halindeki kafes yapısı içinde bulunan tek tek hücreler ile temsil edilir. Talimatlar 1 etch adımlarınsayısını belirlemek içindenklemi dışarı yazın

. Bu, N ( t ) = [ M /E ( s ) T] t olarak ifade edilir. 1 Bir varsayılan değer M değeri E ( ler) T bir katı olan T kullanılmaktadır E ( s ) değeri [ 0,1 ] olduğunu.
2.

yüzey malzemesieşdeğer aşındırma oranını belirlemek içindenklemi yaz. Bu şöyle ifade edilir : .

E ( s) = M /N ( t ) T = M /( M /E ( s) T ) T = E ( ler) den

M E ( s ) T bir katı değilbir sonraki hücreninaşındırma hemen başlamaz , çünkü o bir uyumsuzluk ortaya çıkar .
3

için bir not » k , » Marka olan bir aşındırma adımı tanımlamak için kullanılır . Sürecindebir sonraki adım, dağlama k + 1 olarak belirtilmiştir . Tb ( k) gibi bir aşındırma adım içinzaman dengeyi unutmayın .
4.

zaman tazminat hesaplamak için kullanılandenklemi yaz.

M (k) > : Bu ​​denklem ile ifade edilir E ( s ) ( T + Tb ( k – 1 )

T ( k ) = T + Tb ( k – 1 )

M ( k +1 ) = M ( k ) – E ( s) T ( k )

Tb ( k ) = 0

başka

T ( k ) = M ( k ) /E ( ler) den

M ( k +1 ) = 0

Tb ( k ) = T -zaman tazminat yöntemi, sonuçların T ( k )

sonuç olarak ifade edilir bir denklemi :

E ( s) = M ( k ) /T bir aşındırma adım k (k ) = E ( ler )